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    • 专利摘要:
    Bei einem Gaslaser mit einem Nutzgas zuführenden Gasschlauch (2) weist der Gasschlauch (2) einen das Nutzgas führenden Innenschlauch (7) und einen den Innenschlauch (7) umgebenden Außenschlauch (6) auf, dessen Innendurchmesser (D) größer als der Außendurchmesser (d) des Innenschlauchs (7) ist.In the case of a gas laser with a gas hose (2) supplying the gas, the gas hose (2) has an inner tube (7) carrying the active gas and an outer tube (6) surrounding the inner tube (7) whose inner diameter (D) is greater than the outer diameter (i.e. ) of the inner tube (7).
    公开号:DE102004024956A1
    申请号:DE200410024956
    申请日:2004-05-21
    公开日:2005-12-15
    发明作者:Michael Dr. Von Borstel
    申请人:Trumpf Laser und Systemtechnik GmbH；
    IPC主号:H01S3-036
    专利说明:
    [0001] Dievorliegende Erfindung betrifft einen Gaslaser mit einem NutzgaszuführendenGasschlauch. Das Nutzgas ist insbesondere das Lasergas, z.B. ein Gasgemischaus Helium (He), Stickstoff (N2) und Kohlendioxid(CO2), oder ein sonstiges Prozessgas.The present invention relates to a gas laser with a gas line supplying Nutzgas. The useful gas is in particular the laser gas, for example a gas mixture of helium (He), nitrogen (N 2 ) and carbon dioxide (CO 2 ), or another process gas.
    [0002] ZurZuführungvon Nutzgas zu Gaslasern werden bisher möglichst gasundurchlässige Gasschläuche odermetallische Festverrohrungen eingesetzt. Metallische Festverrohrungensind sehr teuer und unflexibel. Gasschläuche sind in der Regel nicht absolutdicht, sondern lassen Fremdgase in geringem Umfang hindurch diffundieren.Die Verdünnung desNutzgases mit den Fremdgasen erfordert eine höhere Gasaustauschrate, derGasverbrauch des Lasers ist daher höher. Near-Sealed Off-Laser bzw. Laser mit integrierterkleiner Gasflasche sind mit solchen Gasschläuchen nur schwer zu realisieren.tofeedFrom useful gas to gas lasers are so far as gas-impermeable gas hoses ormetallic solid tubing used. Metallic solid pipingare very expensive and inflexible. Gas hoses are usually not absolutedense but allow foreign gases to diffuse to a small extent.The dilution of theNutzgases with the foreign gases requires a higher gas exchange rate, theGas consumption of the laser is therefore higher. Near-sealed off-laser or laser with integratedSmall gas cylinder are difficult to realize with such gas hoses.
    [0003] Aus DE 201 10 048 U1 istein Gaslaser mit einer Vorrichtung zum Entfernen von Gasverunreinigungenbekannt. Überein Heizelement, das auf Temperaturen von über 60°C erhitzt wird, werden Verunreinigungenwie N2O, N2 undO2 entfernt. An der metallischen Oberfläche derHeizelemente finden Reaktionen statt, die zu einer Reduzierung dergesamten Verunreinigungen führen.Das Heizelement ist in einem Gasraum angeordnet, der über Leitungenmit der Gasentladungskammer des Lasers verbindbar ist.Out DE 201 10 048 U1 For example, a gas laser with a device for removing gas contaminants is known. A heating element heated to temperatures above 60 ° C removes impurities such as N 2 O, N 2 and O 2 . Reactions take place on the metallic surface of the heating elements which lead to a reduction of the total impurities. The heating element is arranged in a gas space which can be connected via lines to the gas discharge chamber of the laser.
    [0004] Demgegenüber istes die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Gaslaser der eingangsgenannten Art dahingehend weiterzubilden, dass das Eindiffundierenvon Fremdgasen in das Nutzgas wirksam verhindert werden kann.In contrast, isIt is the object of the present invention to provide a gas laser of the beginningfurther develop said type to the effect that the EindiffundierenFrom foreign gases can be effectively prevented in the Nutzgas.
    [0005] DieseAufgabe wird erfindungsgemäß dadurchgelöst,dass der Gasschlauch einen das Nutzgas führenden Innenschlauch und einenden Innenschlauch umgebenden Außenschlauch,dessen Innendurchmesser größer alsder Außendurchmesser desInnenschlauchs ist, aufweist.TheseTask is inventively characterizedsolved,in that the gas hose has an inner tube carrying the useful gas and athe outer tube surrounding the inner tube,its inner diameter is larger thanthe outer diameter of theInner tube is, has.
    [0006] Indem zwischen Außen-und Innenschlauch befindlichen Zwischenraum bzw. Ringspalt können durchden Außenschlauchdiffundierte Fremdgase, insbesondere Wasserdampf und Kohlenwasserstoffe,beseitigt werden. Vorzugsweise ist dazu der zwischen Außen- undInnenschlauch befindliche Zwischenraum bzw. Ringspalt an eine Vakuumpumpe oderDruckgasquelle angeschlossen, so dass die im Zwischenraum befindlichenFremdgase abgesaugt bzw. durch das Druckgas fortgespült werden.Bevorzugt ist im Fall der Vakuumabsaugung, sofern bereits eine Vakuumpumpezur Evakuierung des Resonators vorhanden ist, der Zwischenraum bzw.Ringspalt an diese Vakuumpumpe angeschlossen. Die Vakuumpumpe erzeugtim Zwischenraum bzw. Ringspalt einen Druck kleiner oder gleich 20hPa, insbesondere kleiner als 5 hPa. Im Fall des Druckgases wirddurch den im Zwischenraum herrschenden Überdruck das Eindringen vonFremdgasen von außenzusätzlich verhindert.Als Druckgasquelle wird eine Gasquelle bezeichnet, die gegenüber demNutzgas im Innenschlauch einen Überdruckerzeugt.Inbetween the outsideand inner tube intermediate space or annular gap can throughthe outer tubediffused foreign gases, especially water vapor and hydrocarbons,be eliminated. Preferably, this is between the outside andInner tube located gap or annular gap to a vacuum pump orGas source connected so that the located in the spaceForeign gases are sucked off or flushed away by the compressed gas.Preference is given in the case of vacuum extraction, if already a vacuum pumpexists for evacuation of the resonator, the gap orAnnular gap connected to this vacuum pump. The vacuum pump generatesin the space or annular gap a pressure less than or equal to 20hPa, in particular less than 5 hPa. In the case of the compressed gasthrough the prevailing in the space overpressure the penetration ofForeign gases from the outsideadditionally prevented.As a source of compressed gas, a gas source is referred to the oppositeNutzgas in the inner tube an overpressuregenerated.
    [0007] Beieiner vorteilhaften Weiterbildung dieser Ausführungsform ist das Druckgasder Druckgasquelle trockene Luft. In diesem Fall kann der Gasschlauchin Reihe zur Druckluftleitung des Gaslasers angeschlossen werden,sodass keine zusätzliche Druckluftbenötigtwird. Wenn z.B eine Resonatorhaube des Gaslasers mit getrockneterDruckluft entfeuchtet wird, wird die Druckluft über den Zwischenraum bzw. Ringspaltdes Gasschlauchs zugeführt. Alternativkann das Druckgas der Druckgasquelle ein Spülgas, insbesondere Stickstoffoder Argon, sein.atAn advantageous development of this embodiment is the compressed gasthe compressed gas source dry air. In this case, the gas hosebe connected in series to the compressed air line of the gas laser,so no extra compressed airneededbecomes. If, for example, a resonator hood of the gas laser with driedCompressed air is dehumidified, the compressed air through the gap or annular gapfed to the gas hose. alternativeFor example, the compressed gas of the compressed gas source may be a purge gas, in particular nitrogenor argon.
    [0008] Beieiner anderen Ausführungsformder Erfindung ist der zwischen Außen- und Innenschlauch befindlicheZwischenraum bzw. Ringspalt an eine Flüssigkeitsquelle angeschlossen,so dass die im Zwischenraum befindlichen Fremdgase durch die Flüssigkeitfortgespültwerden. Vorteilhaft ist die FlüssigkeitsquelleTeil eines Kühlkreislaufsfür denGaslaser. Als Flüssigkeitsquellewerden solche Flüssigkeiteneingesetzt, fürdie der Innenschlauch undurchlässigist.atanother embodimentThe invention is located between the outer and inner tubeGap or annular gap connected to a liquid source,so that the foreign gases located in the gap through the liquidwashed awaybecome. The liquid source is advantageousPart of a refrigeration cyclefor theGas lasers. As a fluid sourcebecome such liquidsused, forthe inner tube impermeableis.
    [0009] Vorzugsweisesind im Zwischenraum Absorptionsmittel, insbesondere zur Absorptionvon Wasserdampf, vorgesehen, wodurch eine wirksame Beseitigung vonFremdgasen im Zwischenraum allein oder zusätzlich zu den oben geschildertenMaßnahmenmöglichist. Die Absorptionsmittel können loseim Zwischenraum angeordnet oder als Beschichtung auf die Außenseitedes Innenschlauchs und/oder die Innenseite des Außenschlauchsaufgebracht sein. Im Falle einer Beschichtung des Innen- und/oderAußenschlauchsmüssendie Absorptionsmittel regenerierbar ausgebildet sein.Preferablyare in the space absorbent, especially for absorptionof steam, providing an effective elimination ofForeign gases in the space alone or in addition to the aboveactivitiespossibleis. The absorbents can be loosearranged in the space or as a coating on the outsideof the inner tube and / or the inside of the outer tubebe upset. In the case of a coating of the interior and / orouter tubehave tothe absorbent can be formed regenerable.
    [0010] Beieiner besonders bevorzugten Ausführungsformbesteht der Innenschlauch und/oder der Außenschlauch aus einem Kunststoff,insbesondere aus Vernetztem Polyethylen (VPE), Polyethylen, Polytetrafluorethylenoder metallisch beschichtetem Kunststoff, wobei Innenschlauch undAußenschlauch ausgleichen oder unterschiedlichen Kunststoffmaterialien bestehen können.ata particularly preferred embodimentIf the inner tube and / or the outer tube is made of a plastic,in particular crosslinked polyethylene (PU), polyethylene, polytetrafluoroethyleneor metallically coated plastic, wherein inner tube andOuter tube offmay consist of the same or different plastic materials.
    [0011] Beieiner anderen Ausführungsformder Erfindung sind mehrere Innenschläuche in einem Außenschlauch angeordnet, beispielsweise ein Innenschlauchzur Lasergaszufuhr, ein Innenschlauch zur Absaugung und/oder einweiterer Innenschlauch, der fürMesszwecke (z.B. Druckmessungen) verwendet wird.In another embodiment of the invention, several inner tubes are in an Au arranged ßenschlauch, for example, an inner tube for laser gas supply, an inner tube for suction and / or another inner tube, which is used for measurement purposes (eg pressure measurements).
    [0012] WeitereVorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und derZeichnung. Ebenso könnendie vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmaleje fürsich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Diegezeigte und beschriebene Ausführungsformist nicht als abschließendeAufzählungzu verstehen, sondern hat vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderungder Erfindung.FurtherAdvantages of the invention will become apparent from the description and theDrawing. Likewisethe above-mentioned and the features further mentionedever forto use one or more in any combination. Theshown and described embodimentis not as finalenumerationbut rather has an exemplary character for the descriptionthe invention.
    [0013] Eszeigen:Itdemonstrate:
    [0014] 1 schematischden erfindungsgemäßen Gaslasermit Gasschlauch; und 1 schematically the gas laser according to the invention with gas hose; and
    [0015] 2 denQuerschnitt des in 1 gezeigten Gasschlauchs. 2 the cross section of in 1 shown gas hose.
    [0016] Demin 1 gezeigten CO2-Gaslaser 1 wird über einenGasschlauch 2 sowohl das Lasergas (Gemisch aus He, N2 und CO2) als auchein Druckgas (z.B. trockene Druckluft) zur Entfeuchtung einer Resonatorhaube(nicht gezeigt) zugeführt.Dazu ist der Gasschlauch 2 über einen Adapter 4 miteiner Lasergasquelle 3 und einer Druckgasquelle 5 jeweilsdurch kurze Rohrstücke 10, 11 einerFestverrohrung verbunden.The in 1 shown CO 2 gas laser 1 is via a gas hose 2 both the laser gas (mixture of He, N 2 and CO 2 ) and a compressed gas (eg dry compressed air) for dehumidifying a Resonatorhaube (not shown) supplied. This is the gas hose 2 via an adapter 4 with a laser gas source 3 and a pressurized gas source 5 each by short pieces of pipe 10 . 11 connected to a solid casing.
    [0017] Derin 2 im Querschnitt gezeigte Gasschlauch 2 weisteinen Innenschlauch 7 aus Polyethylen und einen den Innenschlauch 7 umgebenden Außenschlauch 6 ausPolyethylen auf, dessen Innendurchmesser D größer als der Außendurchmesserd des Innenschlauchs 7 ist. Beim Betrieb des Gaslasers 1 wird über denAdapter 4 das von der Lasergasquelle 3 gelieferteGasgemisch aus He, N2 und CO2 indas Innenvolumen 8 des Innenschlauchs 7 und gleichzeitigtrockene Druckluft der Druckgasquelle 5 in den zwischenAußen-und Innenschlauch 6, 7 befindlichen Zwischenraumbzw. Ringspalt 9 eingeleitet. Die Strömung der Druckluft nimmt Fremdgase mit,die durch den Außenschlauch 6 nachinnen in den Zwischenraum 9 eindiffundieren, und verhindert dadurchein weiteres Eindiffundieren der Fremdgase durch den Innenschlauch 7 indas Innenvolumen 8. Da das Lasergas durch Fremdgase nichtverunreinigt wird, kann der Gasverbrauch des Lasergases abgesenktwerden.The in 2 Gas hose shown in cross section 2 has an inner tube 7 made of polyethylene and one the inner tube 7 surrounding outer tube 6 made of polyethylene, whose inner diameter D is greater than the outer diameter d of the inner tube 7 is. When operating the gas laser 1 is over the adapter 4 that from the laser gas source 3 supplied gas mixture of He, N 2 and CO 2 in the internal volume 8th of the inner tube 7 and at the same time dry compressed air of the compressed gas source 5 in between the outer and inner tube 6 . 7 located intermediate space or annular gap 9 initiated. The flow of compressed air entrains foreign gases through the outer tube 6 inside the gap 9 diffuse, thereby preventing further inward diffusion of the foreign gases through the inner tube 7 in the interior volume 8th , Since the laser gas is not contaminated by foreign gases, the gas consumption of the laser gas can be lowered.
    [0018] DieBeseitigung von Fremdgasen aus dem Zwischenraum 9 kannauch durch Verwendung eines Spülgaseswie Argon oder Stickstoff anstelle von Druckluft erreicht werden.Auch die Verwendung einer Vakuumpumpe oder Flüssigkeitsquelle anstelle derDruckgasquelle 5 ist möglich,um Fremdgase aus dem Zwischenraum 9 zu entfernen.The elimination of foreign gases from the gap 9 can also be achieved by using a purge gas such as argon or nitrogen instead of compressed air. Also the use of a vacuum pump or liquid source instead of the compressed gas source 5 is possible to remove foreign gases from the gap 9 to remove.
    [0019] Alternativoder zusätzlichzu den oben beschriebenen Maßnahmenkann ein Absorptionsmittel in den Zwischenraum 9 eingebrachtwerden, das den im Zwischenraum 9 befindlichen Wasserdampfabsorbiert und so ein Eindringen des Wasserdampfes in den Innenschlauch 7 verhindert.Alternatively, or in addition to the measures described above, an absorbent may be placed in the interspace 9 be introduced, the in the space 9 absorbed water vapor and thus penetration of the water vapor in the inner tube 7 prevented.
    [0020] DerGasschlauch 2 lässtsich besonders dann vorteilhaft verwenden, wenn neben dem Lasergasnoch ein weiteres Gas oder eine Flüssigkeit zum Betrieb des Gaslasers 1 benötigt wirdoder der Gaslaser 1 zur Evakuierung des Laserresonatorsan eine Vakuumpumpe angeschlossen ist. Das Gas oder die Flüssigkeitkann überden Zwischenraum 9 zum Gaslaser 1 transportiertwerden, wodurch gleichzeitig die Verschmutzung des Lasergases durchFremdgase verhindert wird. Als Gase können beispielsweise Prozessgaseoder Schneidgase verwendet werden. Die Vakuumpumpe erzeugt einenDruck im Zwischenraum 9, der unter 20 hPa, im Idealfallunter 5 hPa, liegt.The gas hose 2 can be used particularly advantageous if, in addition to the laser gas, another gas or a liquid to operate the gas laser 1 is needed or the gas laser 1 For evacuation of the laser resonator to a vacuum pump is connected. The gas or liquid can pass through the gap 9 to the gas laser 1 be transported, whereby at the same time the pollution of the laser gas is prevented by foreign gases. As gases, for example, process gases or cutting gases can be used. The vacuum pump creates a pressure in the gap 9 which is below 20 hPa, ideally below 5 hPa.
    权利要求:
    Claims (12)
    [1]
    Gaslaser (1) mit einem Nutzgas zuführenden Gasschlauch(2), dadurch gekennzeichnet, dass der Gasschlauch(2) einen das Nutzgas führenden Innenschlauch(7) und einen den Innenschlauch (7) umgebendenAußenschlauch(6), dessen Innendurchmesser (D) größer als der Außendurchmesser (d)des Innenschlauchs (7) ist, aufweist.Gas laser ( 1 ) with a gas gas supplying Nutzgas ( 2 ), characterized in that the gas hose ( 2 ) an inner tube leading the Nutzgas ( 7 ) and one the inner tube ( 7 ) surrounding outer tube ( 6 ), whose inner diameter (D) is greater than the outer diameter (d) of the inner tube ( 7 ).
    [2]
    Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der zwischen Außen-und Innenschlauch (6, 7) befindliche Zwischenraum(9) an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist.Gas laser according to claim 1, characterized in that between the outer and inner tube ( 6 . 7 ) intermediate space ( 9 ) is connected to a vacuum pump.
    [3]
    Gaslaser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,dass die Vakuumpumpe im Zwischenraum (9) einen Druck kleineroder gleich 20 hPa, insbesondere kleiner als 5 hPa, erzeugt.Gas laser according to claim 2, characterized in that the vacuum pump in the intermediate space ( 9 ) produces a pressure less than or equal to 20 hPa, in particular less than 5 hPa.
    [4]
    Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der zwischen Außen-und Innenschlauch (6, 7) befindliche Zwischenraum(9) an eine Druckgasquelle (5) angeschlossen ist.Gas laser according to claim 1, characterized in that between the outer and inner tube ( 6 . 7 ) intermediate space ( 9 ) to a compressed gas source ( 5 ) connected.
    [5]
    Gaslaser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass das Druckgas der Druckgasquelle (5) trockene Luftist.Gas laser according to claim 4, characterized in that the compressed gas of the compressed gas source ( 5 ) is dry air.
    [6]
    Gaslaser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass das Druckgas der Druckgasquelle (5) ein Spülgas, insbesondereStickstoff oder Argon, ist.Gas laser according to claim 4, characterized in that the compressed gas of the compressed gas source ( 5 ) is a purge gas, in particular nitrogen or argon.
    [7]
    Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der zwischen Außen-und Innenschlauch (6, 7) befindliche Zwischenraum(9) an eine Flüssigkeitsquelleangeschlossen ist.Gas laser according to claim 1, characterized in that between the outer and inner tube ( 6 . 7 ) intermediate space ( 9 ) is connected to a liquid source.
    [8]
    Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass im Zwischenraum (9) Absorptionsmittel,insbesondere zur Absorption von Wasserdampf, vorgesehen sind.Gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that in the intermediate space ( 9 ) Absorbents, in particular for the absorption of water vapor, are provided.
    [9]
    Gaslaser nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,dass die Absorptionsmittel lose im Zwischenraum (9) angeordnetsind.Gas laser according to claim 8, characterized in that the absorption means loose in the space ( 9 ) are arranged.
    [10]
    Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass der Innenschlauch (7) und/oder derAußenschlauch(6) aus einem Kunststoff, insbesondere aus Vernetztem Polyethylen(VPE), Polyethylen, Polytetrafluorethylen oder metallisch beschichtetemKunststoff, besteht.Gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that the inner tube ( 7 ) and / or the outer tube ( 6 ) consists of a plastic, in particular crosslinked polyethylene (VPE), polyethylene, polytetrafluoroethylene or metallically coated plastic.
    [11]
    Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass der Gasschlauch (2) einen Außenschlauch(6) und mehrere Innenschläuche (7) aufweist.Gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that the gas hose ( 2 ) an outer tube ( 6 ) and several inner tubes ( 7 ) having.
    [12]
    Gaslaser nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,dass die mehreren Innenschläuche(7) zur Zufuhr von Lasergas, zur Absaugung und für Messzweckevorgesehen sind.Gas laser according to claim 11, characterized in that the plurality of inner tubes ( 7 ) are provided for the supply of laser gas, for suction and for measuring purposes.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    DE102004024956B4|2007-08-23|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2005-12-15| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2008-02-28| 8364| No opposition during term of opposition|
    2018-12-01| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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